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不同气体对皮拉尼真空计的影响

不同气体对皮拉尼真空计的影响因为热量的传递不仅仅与压强有相互关系，同时与气体的摩尔量和分子结构有关系。不同的气体会导致压力测量时得出不同的结果。

在一般情况下，当现有的气体的原子或者分子越大，热传导的能力或者效率越低。

 在压力测量中，除少数直接测量外，绝大多数是间接测量。它首先在被测气体中引起某些物理现象，然后在此过程中测量与压力有关的物理量，然后尝试确定压力值。这是真空测量的特点，也会引起一些问题。

皮拉尼真空计用范围

化学工业

电子与微电子领域

气相沉积

电子束焊接

真空冶金

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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压电阀是利用压电效应制成的一种真空气体流量调节阀。压电阀的部件是由压电陶瓷制成的具有压电特性的膜片。当在压电陶瓷膜片上施加一控制电压时，它将会产生正比于外加电压值大小的变形。同时，带动密封垫移动。于是压电阀流导产生变化，从而改变气体通过压电阀的流量。英福康真空计维修保养

当压电陶瓷膜片上未施加控制电压时，由于弹簧的机械力作用在压电陶瓷膜片和密封垫上，使压电阀气路关闭。因而，可以通过改变施加在压电陶瓷膜片上的控制电压的大小，来改变压电阀的流导，从而改变流过压电阀的气体流量。于是，可实现真空装置的真空室中的真空度调节。英福康真空计维修保养

电容薄膜真空计

属弹性元件真空计，弹性薄膜将规管真空室分为两个小室，即参考压强室和测量室。测量低压强 (P<100帕)时，参考室抽至高真空,其压强近似为零。当测量室压强不同时，薄膜变形的程度也不同。在测量室中有一固定电极，它与薄膜形成一个电容器。薄膜变形时电容值相应改变，通过电容电桥可测量电容的变化从而确定相应压强值。为了防止薄膜发生蠕变，通常采用零位法测量，即在固定电极和薄膜之间加一直流电压，利用静电力补偿薄膜受压强差而产生的应力，使膜片保持零位。

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广州潽拓光电科技有限公司——英福康真空泵修复卤素检漏仪维修

　冷阴极电离真空计与热阴极电离真空计一样，是利用低压力下气体分子的电离电流与压力有关的特性，用放电电流做为真空度的测量，由电流表CB(做为真空度指示仪表，一般用量程为o～100μA)指示出来。所不同的在于电离源。卤素检漏仪维修

卤素检漏仪是因为化学元素周期表里面有卤族元素周期系ⅦA族元素。包括氟（F）、氯（Cl）、*（Br）、碘（I）、砹（At），简称卤素，通常所说的氟利昂含氟，检漏仪又对氟起反应，所以叫卤素检漏仪，精度*好应该到5×10-7~08Pa·m3/s吧。有手持式和台式的。卤素检漏仪维修

氦质谱检漏仪是由离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计、还有分子泵等组成，氦气分子小，还比较活跃，属于惰性气体，不腐蚀设备，检漏*率高，氦气质谱检漏仪反应灵敏，精度高，可检测到5×10-12Pa·m3/s。一般为台式。卤素检漏仪维修

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